リソグラフィ・システム

電磁、静電、および動的フォーカス制御は、シーラス・ロジックのパワー・リニア・アンプが最も利用される偏向アプリケーションです。これらの製品は、Apex Precision Power®テクノロジーを基盤とし、他に類を見ない組み合わせによる高速、高電流、高電圧の動作を可能にします。一般に偏向回路を設計するには、デバイスが高速なほどパフォーマンスの安定化に有利なので、目的のスルー・レートよりも10倍速い最低スルー・レートを持つアンプを選択する必要があります。電磁偏向の場合は、高速と高電流の組み合わせが最適です。さらに電圧レンジが広ければ、アンプは電流をヨークに高速で流すことができます。高電圧リニア・アンプは、静電偏向やフォーカスに最も適しています。シーラス・ロジックの製品は、100 V/µsから業界トップの3,000 V/µsまでのスルー・レート・パフォーマンスをシングル・パッケージ・ソリューションで提供します。動作電圧は、50 V~450 V、出力電流は、0.04 A~15 Aの範囲をカバーします。


  • 20種類以上のモデルを揃えた高速リニア・パワー・アンプ
  • 高出力電流に対応
  • 広い電源電圧動作
  • 回路保護を内蔵
  • IC、ハイブリット、およびオープン・フレーム・モジュールの製品設計

パワーオペ・アンプ

サポート対象製品
  • MP103FC
    15 A、200 V/µs 高電圧パワー・アンプ
  • MP108
    低コスト、オープン・フレーム・パッケージ、200 V高圧電源、300kHz高電力帯域幅パワー・アンプ
  • MP108A
    低コスト、オープン・フレーム・パッケージ、200 V高圧電源、300kHz高電力帯域幅パワー・アンプ
  • MP111
    低コスト、オープン・フレーム・パッケージ、15 A高電流、200 V高圧電源、500kHz高電力帯域幅パワー・アンプr
  • MP400
    統合スイッチ・モード電源搭載の高速パワー・アンプ(10V~50V)
  • PA05
    30A、100V、100V/µsパワー・アンプ
  • PA05A
    30A、100V、100V/µsパワー・アンプ
  • PA09
    150MHz、200V/µs、2Aパワー・アンプ
  • PA09A
    150MHz、200V/µs、2Aパワー・アンプ
  • PA09M /883
    150MHz、200V/µs、2Aパワー・アンプ
  • PA78
    超低スタンバイ電流、350V/µsパワー・アンプ
  • PA79
    350V、350V/µsスルー・レート、低停止電流パワー・アンプ
  • PA84
    高スルー・レート200V/µs、高電圧350Vパワー・アンプ
  • PA84A
    高スルー・レート200V/µs、高電圧350Vパワー・アンプ
  • PA84S
    高スルー・レート200V/µs、高電圧350Vパワー・アンプ
  • PA85
    超高速1,000V/µs、高電圧450Vパワー・アンプ
  • PA85A
    超高速1,000V/µs、高電圧450Vパワー・アンプ
  • PA85M
    超高速1,000V/µs、高電圧450Vパワー・アンプ
  • PA90
    400V、200mA、高スルー・レート300V/µsパワー・アンプ
  • PA91
    450V、200mA、高スルー・レート300V/µsパワー・アンプ
  • PA94
    超高電圧900V、超高スルー・レート500V/µsパワー・アンプ
  • PA96
    300V、1.5A、250V/µs広帯域幅アンプ
  • PA98
    超高スルー・レート1000V/µs、高電圧450Vパワー・アンプ
  • PA98A
    超高スルー・レート1000V/µs、高電圧450Vパワー・アンプ
  • PA107DP
    3000 V/µs 高電圧パワー・アンプ
  • PA119CE
    高速900V/µs、4Aパワー・アンプ
  • PA119CEA
    高速900V/µs、4Aパワー・アンプ
  • PB50
    200V、2A、電圧および電流ゲイン・パワー・ブースター・アンプ(スルー・レート50V/µs、160kHz電力帯域幅)
  • PB51
    Power SIPパッケージ、300V、2A、電圧および電流ゲイン・パワー・ブースター・アンプ(スルー・レート50V/µs、320kHz電力帯域幅)
  • PB51A
    Power SIPパッケージ、300V、2A、電圧および電流ゲイン・パワー・ブースター・アンプ(スルー・レート50V/µs、320kHz電力帯域幅)
  • PB58
    300V、2A、電圧および電流ゲイン・パワー・ブースター・アンプ(スルー・レート50V/µs、320kHz電力帯域幅)
  • PB58A
    300V、2A、電圧および電流ゲイン・パワー・ブースター・アンプ(スルー・レート50V/µs、320kHz電力帯域幅)
  • PB63
    1,000 V/µs, 1 MHz Power Bandwidth, 2-Channel Power Booster Amplifier
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